Dünnschichtmesstechnik

Dünnschichtinterferometrie oder spektrale Reflektometrie und Weißlichtinterferometrie werden
als Schichtdickenmessverfahren in der Halbleiterindustrie und der Polymerelektronik eingesetzt,
z.B. zur Charakterisierung von Dünnschichtpolymeren Online-/insitu-Prozesskontrolle.

Historie zur Forschung von Prof. Koch
auf dem Gebiet der Dünnschichtmesstechnik

 

Kontakt: M. Sc. Xingchen Dong