Ausstattung

Meßplätze

Meßplatz zur Charakterisierung von MEMS (basierend auf Weißlichtinterferometrie)

  • Weißlichtinterferometer
    • Typ: Veeco WYKO NT 1100 DMEMS
    • Statische und dynamische Topographiemessung
  • Druckkammermeßsystem
  • Impedanzanalysator
  • Anregung mittels Hochspannungsfunktionsgenerator

Meßplatz zur Charakterisierung von MEMS (basierend auf Laservibrometrie)

  • Scanning Vibrometer
    • Typ: Polytec MSA-500
    • Dynamische Messung
  • Druckkammermeßsystem
  • Anregung mittels Hochspannungsfunktionsgenerator
  • Anregung mittels Piezoschwinger

Hochtemperaturmeßplatz

  • Messaufbau zur Charakterisierung von Halbleitern bei hohen Temperaturen im Vakuum

Optikmeßplatz zur Charakterisierung von Wide-Bandgap Halbleitern

  • Meßaufbau zur elektrothermischen Charakterisierung von SiC-Bauelementen
  • Schwingungsgedämpfter Optiktisch
  • Verschiedene Halbleiterlaser
  • Meßequipment: Strompulser, Oszilloskope, Halbleiterdetektoren

Labore

Reinraum

  • Naßchemische Arbeitsplätze
  • Fotolithografie
  • Oxidationsofen
  • KOH-Ätzung
  • Bedampfungsanlage
  • Mikroskope

Software und HPC

Der Lehrstuhl verfügt über ein leistungsfähiges Rechnernetzwerk in dem den Benutzern unter anderem folgende Softwarepakete zur Verfügung gestellt werden: