Praktika

Design und Simulation von Mikroelektromechanischen Systemen (MEMS)

  • Design von MEMS Aktoren und Sensoren in der kommerziellen Simulationssoftware MEMS+ von Coventor
  • Untersuchung der Sensoren und Aktoren mittels Simulation
  • Vermittlung von Grundkenntnissen in der Modellierung von Mikromechanischen Bauelementen und Systemen (MEMS)

Halbleiterbauelemente der Hochleistungselektronik

  • Elektrische und elektrothermische Charakterisierung von Bauelementen der Leistungselektronik

Prozess- und Bauelemente-Simulation

  • Modellierung technologischer Prozesse der Halbleiterfertigung: Oxidation, Implantation, Diffusion, Schichtabscheidung, Ätzen
  • Elektrisches und thermisches Verhalten von Bauelementen
  • Optimierung der Bauelemente

Simulation und Charakterisierung von Mikrobauteilen

  • Simulation und Analyse mikromechanischer Drucksensoren (FEM-Simulationen mit ANSYS)
  • Orientierungsabhängiges Ätzen von Silizium (Prozeßsimulationen mit SIMODE/QSIMODE)
  • Simulation von pn-Übergängen ohne und mit Photogeneration (Devicesimulationen).